這里介紹的廢氣污染源主要來自硅材料處理車間、電池車間。具體來說：硅材料處理車間的酸清洗工藝、酸浸泡工藝、堿腐蝕工藝產生的廢氣；電池車間腐蝕工藝、天鵝絨制造工藝、擴散工藝和印刷工藝產生的廢氣。根據廢氣的類型和性質采用不同的處理方法。由于車間廢氣主要為酸性氣體，主要采用堿液噴涂法和吸附劑吸附法。
廢氣處理工藝為電池車間腐蝕，羊絨工藝產生的主要廢氣污染物為NOX和HF氣體；硅處理車間酸浸泡工藝的主要廢氣污染物為NOX。
硅材料處理酸清洗工藝和電池100MW制絨工藝產生的廢氣污染物為NOX，采用兩級噴涂和一級吸附。處理工藝如下：
操作規程
凈化系統調整后，應固定調節閥，操作時不得隨意更換。當系統連接到多個排氣點時，如果某個排氣點的工藝設備停止運行，則不應關閉排氣罩，以免改變其他排氣罩的排放。
在規定的工藝設備和凈化設備之間開啟和關閉設備。為防止電機啟動時過載，特別是對于高溫煙氣凈化系統，可調整總閥開度，減少風量。
操作時應記住操作日志。日志的內容包括換班時間和換班時間、當班時間內的設備運行、各種設備的停車時間及其原因。當設備出現故障時，應詳細記錄故障的原因、情況和維護的參考意見。
應加強設備的日常維護。日常維護的主要任務是消除設備、管道、排氣罩、清潔孔、觀察孔、排灰閥等處的漏氣。調整系統的排液量、風量和風壓。
每月定期清除管道及設備內的積塵等沉積物。
設備底池有液位標記，使用前一定要按液位標記注入吸收液。
注意補充吸收液。
使用時，先打開循環泵2~3分鐘，再打開鼓風機，停機時先停止鼓風機1~2分鐘，再停止循環泵。
每天下午1點，檢查塔底水池內液體堿性濃度和排氣口凈化程度，C通過標準時更換底水池內的吸收液。
設備每半年進行一次檢修，檢查盤狀噴淋管及填料堵塞情況，并進行清洗。
設備必須按計劃運行，不得擅自開啟或停止運行(設備故障除外)。
必須嚴格堅守崗位，發現問題及時處理，各崗位衛生必須保持清潔，每班前必須清潔。
吸附塔
吸附裝置：凈化器主要由箱體、進氣口、吸附段和出口組成。在吸附段填充吸附劑。酸廢氣從進氣口進入箱體，然后通過吸附段凈化，凈化后的空氣從通風機排入大氣。應根據具體使用情況定期更換吸附劑。
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